多晶硅铸锭炉用绝缘件
六方氮化硼陶瓷具有优异的耐高温性能、高导热性,高电绝缘性及易加工性且加工精度高、密度小、润滑、无毒,是一种理想的高温导热绝缘材料。
用做多晶硅铸锭炉的绝缘瓦片,垫片,底座等,避免了以往采用刚玉质材料在快速升温过程中容易破裂以及因硅气氛的侵蚀而导致频繁更换的缺陷,具有使用寿命长、对产品污染小等优点。
本公司生产的多晶硅铸锭炉的绝缘件具有以下特点:
1.氮化硼材料结构紧密,耐压强度高,表面气孔率低;
2.组织细腻,光滑耐磨,不龟裂,不脱层;
3.耐温1750度以上;
4.热膨胀系数小。
在实际使用过程中制品表面不易积渗碳,耐硅气氛侵蚀好,使用寿命长,在国内同类产品中性能指标居于领先地位,自2011年研发成功后已先后在内地及台湾地区1200多台不同型号的多晶硅铸锭炉设备上得到应用,得到用户的好评。
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